1) 비저항(전도율)

비저항과 전도율은 반비례의 관계가 있다.

비저항(MegOhm) = 1 / 전도율 (us/cm)

이것은 수용액 전해질(무기이온)의 합계량의 지표이다.

측정비 저항은 수온에 따라 다른데 보통 25'C 온도 보정의 값이 In-line으로 사용된다.

(공기중의 CO2 gas의 영향을 받지 않기 위하여)

2) 유기물 (TOC)

TOC는 총 유기탄소의 약자로서 유기물의 양을 측정하는 지표중의 하나이다.

최근에는 이 값을 내리려는 노력이 각Device Maker에서 추진 되고 있다.

이 값을 ppb 수준까지 내리는 것이 졸래의 방식(증류기)으로는 불가능하다.

따라서 최근에는 UV (자외선)산화방식으로 발생한 CO2량을 측정하는 TOC

Meter가 만들어져 50 ppb 정도까지 검출할 수 있게 되었다.

3) 미립자

미립자 측정에는

a. Membrane Filter 직접검경법(광학현미경, 전자현미경)

b. 액체용 Particle Count법

c. Wafer 표면 광산란법

의 3가지 방법이 일반적으로 쓰이고 있다.

Membrane Filter 직접 검경법은 직접 눈으로 관찰하기 때문에 입자의 종류도 판별할수 있는 편리한 방법이지만,

그밖의 방법에 비교하여 작업환경의 영향을 받기 쉽다.

여기에 대하여 particle count방법은 In-line으로 측정이 가능하고 계측도 입자크기에 따른 자동계측이 가능하여

편리한 점이 있지만 기포와 입자의 식별이 어렵고 측정 가능한 최소입자의 크기가 일반적으로

0.5um이기 때문에 보다 작은 입자에 대하여는 사용할 수없는 단점이 있다.

위 2가지 방법이 실제의 입자수를 측정하는 방법인데 대하여 Water표면 광산란법은 단위 체적당 입자수 측정은

어렵지만,한번 상관관계가 얻어지면 각 현장에서 사용순수 중의 입자추이를 간단하게 알 수 있는 방법이다.

4) 미생물

현재 초순수 중의 미생물 측정에 가장 많이 쓰이고 있는 방법은 Membrane Fiter(MF)여과법이다.

이것은 평판법(한천배지배양)의 경우 검수가 적은 미량의 미생물 계측에는 신뢰성이 떨어지고 배지의 조성,

온도 등의 어려움이 있는 등 많은 단계를 거치는데 비하여 안정되고 신속한 것이 특징이다.