* 초순수의 필요성

일반적으로 순수란, 간단한 전처리를 거친 원수(Feed water)를 이온교환수지를 통과시켜,

비저항값을 어느 수준까지 올린물(이 경우 미생물, 유기물, 미립자는 거의 고려되지 않는다.

또는 증류장치로 얻어진 물을 말한다.

그러나 최근에 미세가공 기술에 사용되는 순수한 물의 경우 종래의 수질로는 원료에 대한 제품의 질을 높이는 것이

불가능하기 때문에 물중에 불순물을 최대한 제거하는 것이 요구되고 있다.

특히 반도체 공장에 있어서는 각종 금속이온은 물론, 유기물, 미립자, 미생물까지도 극하 까지 제거된 초순수가

사용된다.

이렇게하여 생산성의 향상은 물론,LSI Pattern을 보다 세밀화하는 것도 가능하게 되었다.

또 이 분야에서는 초순수의 사용량이 많기 때문에 생산비용을 낮추기 위해 RO(reverse Osmosis) System이

일차 처리에 사용되고 있다.