오늘날의 초순수 제조System이란 어떠한 조합으로 되어 있는 것인가?

System은 크게 3개의 Block으로 나누어진다.

1) Reverse Osmosis System 및 그 전처리

2) 일차 이온 교환장치

3) 초순수 제조장치

일차 순수의 제조법은 이전에는 이온교환법으로 처리되었지만, 현재에는 Reverse Osmosis 방법이 가장 일반적으로

사용되고 있다. 이 방법은 Fiter, 이온교환에 드는비용을 절감할 수 있고 Maintence가 간편하며 미생물, 입자,

유기물Level을 낮추는데 매우 효과적이기 때문이다.

RO System과 이온교환수지를 통과시킨 순수한 물은 비저항값이 2~10MegOhm정도이다.

따라서 17MegOhm 이상의 초순수를 제조할때는 2차 처리가 필요하다.

여기에는 Ultrafiltration Membrane(U.F막)을 사용한 System과 사용하지 않은 System을 생각할수 있다.

현재 Membrane Filter의 최소 Pore Size는 0.2um 전후 이다.

이것은 이 Pore size 이상의 입자에 대하여는 거의 100% 제거할수 있지만 이 Pore size이하에 대하여는

90% 정도이다. 따라서 특수한 경우 (Angestrom 단위의 입자 및 Colloid가 문제로 되는경우) Membrane filter 앞에

UF막을 부착하는 경우가 있다. UF막의 뒷부분에 Membranefilter를 붙이는 이유중의 하나는 UF막의 제거율 때문이다.

UF막은 확실히 0.2um 이하의 입자도 포착하지만 그이상의 것도 빠져나가는 위험성도 많이 갖고 있다.

또 중요한 이유중의 하나는 UF막은 세척공정이 필요하다.